
Projektierte und existierende
Plasma-Anlagenkonzeptionen für die Teilereinigung
1-Kammer Kombinationsanlagen
Die Anlage besteht aus einer Kammer mit angeflanschten Mikrowellenquellen. Das System ist
vakuumfest. Zur Vorreinigung ist die Anlage mit zwei Tanks - einer zum Reinigen, einer zum Spülen
- ausgestattet.
Die Anlage arbeitet nach folgendem Prinzip:
Die Reinigung erfolgt mit einem Kohlenwasserstoff (A III) aus dem ersten Tank. Anschließend
erfolgt die Spülung mit demselben Produkt aus Tank zwei. Daran schließt sich eine
Vakuumtrocknung an. Die Feinstreinigung wird im Anschluß mit einem Plasmaprozeß durchgeführt.
Die Vorreinigung kann mit einem Kohlenwasserstoff oder durch Wasser mit Reinigungsverstärkern
durchgeführt werden. Bei Einsatz von Wasser muß berücksichtigt werden, daß dieses temperiert
ist, denn in der anschließenden Vakuumtrocknung würden sonst die Teile unterkühlt.
Nachteile dieses Verfahrens:
Die Taktzeit ist relativ lang, weil alle Reinigungsschritte - incl. dem Plasmaprozeß - nacheinander in
ein und derselben Kammer durchgeführt werden. Daraus ergibt sich, daß bei entsprechender
Chargengröße die Kammer und das gesamte Vakuumsystem dementsprechend groß ausgelegt sein
müssen.
Ein weiterer Nachteil ist, daß verfahrensbedingt Verschleppung relativ groß sind.
Mit dieser Anlagentechnik arbeitet zur Zeit nur eine große 2-Kammeranlage.

Durchlaufanlage
Galvanikprinzip mit anschließender Plasmaanlage
Vorreinigung mit Wasser
Hierbei wird eine vierstufige Vorreinigungsanlage benötigt, die mit folgenden Reinigungsschritten
arbeitet:
1. Reinigung auf wäßriger Basis mit Reinigungsmedium
2. Spülung mit normalem (Stadt-) Wasser
3. Spülung mit VE-Wasser
4. Umlufttrocknung
5. Plasmareinigung
Hier schließt sich eine Plasmaanlage an, die zur Beladung mit einem Schubladensystem ausgestattet
ist, so daß die Körbe, die die Vorreinigungsanlage durchlaufen, auf der geöffneten Schublade
abgesetzt, in die Anlage verfahren werden und nach Beendigung des Plasmaprozesses nach vorne
wieder abgegeben werden können.
Vorreinigung mit Glycolether
Die Vorreinigungsanlage arbeitet nach folgendem Prinzip:
1. Reinigung mit einem Glycolether
2. Spülung mit normalem (Stadt-) Wasser
3. Spülung mit VE-Wasser
4. Umluftrocknung
5. Plasmareinigung
Hier schließt sich eine Plasmaanlage an, die zur Beladung mit einem Schubladensystem ausgestattet
ist, so daß die Körbe, die die Vorreinigungsanlage durchlaufen, auf der geöffneten Schublade
abgesetzt, in die Anlage verfahren werden und nach Beendigung des Plasmaprozesses nach vorne
wieder abgegeben werden können.
Vorreinigung mit Kohlenwasserstoff
Die Vorreinigungsanlage arbeitet mit drei Reinigungsstufen:
1. Reinigung mit Kohlenwasserstoff
2. Spülung mit sauberem (Destillat) Kohlenwasserstoff
3. Trocknung mit Abluft und Nachkondensation
4. Hieran schließt sich eine Plasmaanlage, wie vorher bereits beschrieben, an.
2 Kammer Kombinationsanlage bestehend aus:
1-Kammervorreinigungsanlage auf wäßriger Basis
1 Plasmaanlage
Als Vorreinigungsanlage wird eine MULTINOVA MN-W eingesetzt.
Diese arbeitet nach folgendem Prinzip:
Die Anlage hat eine Reinigungskammer und drei Tanks. In Tank 1 befindet sich Wasser mit
Reinigungsmedium, Tank 2 ist der erste Spültank, Tank 3 ist der VE-Spültank.
Anschließend erfolgt eine Abluft-/Umlufttrocknung.

2 Kammer Kombinationsanlage bestehend aus:
1 Kammervorreinigungsanlage mit Kohlenwasserstoff
1 Plasmaanlage
Die MNKH K arbeitet mit Kohlenwasserstoff. Sie ist mit zwei Tanks und einer Vakuumdestillation
ausgestattet. In dem ersten Tank befindet sich der Kohlenwasserstoff zum Reinigen, der zweite
Tank beinhaltet Spülmedium. Anschließend kann eine Dampfentfettung durchgeführt werden mit
anschließender Vakuumtrocknung.
Dem schließt sich eine Plasmaanlage an, die nach dem Schubladenprinzip beschickt wird. Beide
Anlagen werden mit einer Beschickungseinrichtung verbunden, so daß sie als ein System arbeiten.

Anlagengrößen
Standardanlagen
Hier wurde die Kammergröße so ausgelegt, daß die nachstehenden Schäferkästen eingesetzt
werden können:
1. L x B x H 640 x 480 x 300 mm
2. 530 x 320 x 200 mm (die Höhe kann auch größer sein)
3. 480 x 320 x 200 mm
Sonderanlagen
Sonderanlagen können mit Kammergrößen bis zu mehreren Kubikmetern gebaut werden. Dies
hängt von der Chargengröße oder den größten zu reinigenden Teilen ab.
Wir bieten auch Mehrkammersysteme an. Ein solches System ist sinnvoll, wenn im
24-Stundenbetrieb gearbeitet wird. Sollte dann ein Kammersystem aus irgendwelchen Gründen
ausfallen, kann wenigstens zu 50 % die Produktion aufrechterhalten werden.
Zusatzausstattungen:
Die Vorreinigungsanlagen sind mit allen gängigen Optionen ausgestattet:
- Ultraschall
- Dreh-/Schwenkvorrichtung
- Lufteinblasung
- Umfluteinrichtung
Die Beschickung für eine solches Anlagensystem kann vollautomatisch oder manuell ausgeführt
sein.
Anwendungsbeispiele:
1. Beispiel:
Verklebung
Altes Verfahren: Wäßrige Vorreinigung mit mehrstufiger Spülung und FCKW-Trocknung.
Produktionsschritt: Verklebung eines Teflonbandes in eine Gleitlagerschale.
Die neue Anlagenkonzeption sieht so aus, wie in Punkt "Vorreinigung mit Kohlenwasserstoff"
beschrieben. Es findet eine normale Reinigung mit Kohlenwasserstoff statt. Danach erfolgt eine
Spülung mit destilliertem Kohlenwasserstoff. Hieran schließt sich eine Umlufttrocknung im
geschlossen Kreislauf an sowie eine Abreicherung der Konzentration an Kohlenwasserstoff durch
ein Kälteaggregat. Anschließend findet eine Plasmafeinstreinigung der Metalloberfläche statt. Das
Reinigungsergebnis ist besser als bei Einsatz des alten Systems, d.h., die Festigkeitswerte konnten
gesteigert werden.
2. Beispiel
Reinigung von Gleitlagern, die im Folgenden besputtert werden.
Altes Verfahren: Reinigung mit Perchlorethylen in einer offenen Anlage.
Produktionsschritt: Besputtern der Gleitlagerinnenseiten
Die Reinigung wird wie folgt durchgeführt:
Das Konzept wurde im Punkt "Vorreinigung mit Kohlenwasserstoff" beschrieben.
1. Schritt Reinigung mit Kohlenwasserstoff
2. Schritt Spülung mit sauberem (destilliertem) Kohlenwasserstoff
3. Schritt Vortrocknung in einem Heißluftumlufttrockner, in dem die Konzentration über ein
Kälteaggregat permanent reduziert wird.
4. Schritt Zwischentrocknung mit Vakuum
5. Schritt Feinstreinigung in einer Plasmaanlage
3. Beispiel:
Reinigung von Edelstahl und Glas
Altes Verfahren: Wäßrige Reinigung mit mehrstufiger Spülung und FCKW-Trocknung.
Produktionsschritt: Verklebung von Glas in einen Metallträger.
Die vorhandene wäßrige Anlage wurde angepaßt indem einige Spülstufen eingespart wurden und
eine einfache Standardplasmaanlage dieser Anlage zugefügt wurde. Die Beschickung erfolgt
aufgrund des relativ geringen Teiledurchsatzes manuell. Das Reinigungsergebnis konnte erheblich
verbessert werden. Dies wird getestet durch folgendes Verfahren:
Die gereinigten Teile werden verklebt und in einen Wärmeofen gestellt, in dem eine sehr hohe
Feuchtigkeit (tropische Bedingungen) herrscht und die Temperatur um +/- 30 °C verändert wird.
Dies geschieht pro Tag ca. 10 Mal. Der ganze Test läuft eine Woche.
Selbst nach diesem Testverfahren ist das Reinigungsergebnis so, daß, wird der Glaskörper aus dem
Metallkörper herausgedrückt, der Kleber in sich selbst zerreißt, d.h., er bleibt sowohl auf der
Metall- als auch auf der Glasoberfläche kleben.
4. Beispiel:
Reinigung von kleinen Leiterplatten, Hybriden und Metallteilen
Altes Verfahren: Offene Perchlorethylenanlage.
Produktionsschritt: Reinigung von Kleinteilen, die montiert, verlötet oder verschweißt werden
müssen.
Reinigung von Leiterplatten nach dem Löten, d.h., Fluxentfernung.
Aktivierung von Kunststoffteilen auf Polypropylenbasis, die danach bedruckt werden.
Der erste Reinigungsschritt ist eine Reinigung mit einem Glykoläther. Die nachfolgende erste
Spülung erfolgt mit normalem Leitungswasser. Die Nachspülung erfolgt mit VE-Wasser, das durch
ein Filtrationssystem immer wieder aufbereitet wird.
Hieran schließt sich eine spezielle Umlufttrocknung an.
Anschließend werden zwei Drehtrommel-Plasmaanlagen zur Feinstreinigung und Aktivierung
eingesetzt.
Das gesamte System ist von der Beladeanlage so ausgestattet, daß die Teile nur normal (flüssig) mit
anschließender Trocknung gereinigt werden können und/oder mit einer anschließenden
Plasmareinigung. Andererseits kann auch nur eine Plasmareinigung oder -aktivierung durchgeführt
werden.
5. Beispiel:
Reinigung von Kontakten
Altes Verfahren: Die Anlage arbeitet nach dem Ultraschallprinzip mit FCKW.
Produktionsschritt: Feinstreinigung der Silberpaladiumkontakte vor dem Verlöten
Zielsetzung war, nur mit einer Plasmaanlage die nötige Reinheit zu erzielen. Wie bereits vorstehend
ausgeführt, ist es nur möglich dünne, gleichmäßige, organische Schichten im Plasma entfernen.
Aus diesem Grund mußten die Stanzmaschinen optimiert werden, so daß nur sehr wenig Öl auf den
Teilen verbleibt. Als zweite Optimierung mußten auch noch die Öle nach einer aufwendigen
Versuchsserie, die einen Hinweis auf die Tauglichkeit im Plasma gegeben hat, verändert bzw.
angepaßt werden.
Durch diese sehr intensive Vorentwicklung ist es gelungen, etwa 85 - 90 % des gesamten
Teilespektrums ohne eine Vorreinigung nur mit Plasma zu reinigen. Hierbei muß noch einmal
erwähnt werden, daß die Firma zur Optimierung des Gesamtprozesses sehr viel Zeit und auch Geld
in das Projekt investieren mußte.
Die Vorreinigung für die restlichen Teile wird durch eine einfache Reinigung und Spülung mit einem
Kohlenwasserstoff durchgeführt.
6. Beispiel:
Reinigung von Metallkomponenten in einer 1-Kammer Kombinationsanlage.
Altes Verfahren: Reinigung mit einer Perchlorethylenanlage.
Produktionsschritt: Montage
Das neue Verfahrens-/Anlagenspektrum arbeitet wie nachstehend beschrieben:
In eine große Kammer wird im ersten Reinigungsschritt Kohlenwasserstoff zur Vorreinigung
eingesetzt. Die Spülung erfolgt mit destilliertem Kohlenwasserstoff. Anschließend erfolgt eine
Vakuumtrocknung.
Nachdem die Teile getrocknet wurden, wird der Druck weiterabgesenkt, um eine
Plasmabehandlung durchzuführen.
Ein Nachteil dieses Verfahrens ist, daß mit Verschleppung gerechnet werden muß, weil die gesamte
Behandlung in einer Kammer stattfindet. Dies bedeutet auch, daß sich die Taktzeit nicht ohne
weiteres optimieren läßt wie z. B. bei einer Durchlaufanlage.
7. Beispiel:
Reinigung von Quarzglasstäben
Altes Verfahren: Die Reinigung wurde manuell mit aggressiven Chemikalien durchgeführt, wie z. B.
Flußsäure HF, Azeton, Isopropylalkohol, und verschiedenen wäßrigen Reinigungsstufen.
Produktionsschritt: Reinigung, Entfernung von Öl nach einer Reflektionsmessung.
Das neue Verfahren arbeitet wie nachstehend beschrieben:
Es wird mit einer wäßrigen Sprühanlage vorgereinigt. Der erste Reinigungsschritt ist Abspritzen
durch Wasser mit einem rein organischen Reinigungszusatz.
Die erste Spülung erfolgt mit relativ sauberem VE-Wasser, das durch eine Mikrofiltration ständig
aufbereitet wird. Danach findet in derselben Zone ein weiterer kurzer Spülschritt mit sehr, sehr
sauberem VE-Wasser mit einer Reinheit von weniger als 0,1 µS statt. Im nächsten Schritt erfolgt
eine 20 - 30 sec. Abtropfphase mit anschließendem Abblasen mit warmen Stickstoff.
Zur Entfernung der restlichen organischen Verunreinigungen wird eine Plasmaanlage eingesetzt. Das
gesamte Reinigungsverfahren erfolgt vollautomatisch.